과학기술정보통신부

모든 장비ㆍ시설을 말한다. 가. 물질을 나노미터 크기의 범주에서 조작ㆍ분석하고 이를 제어함으로써 새롭거나 개선된 물리적ㆍ화학적ㆍ생물학적 특성을 나타내는 소재ㆍ소자(素子) 또는 시스템(이하 "소재등"이라 한다)을 만들어 내는 과학기술 나. 소재등을 나노미터 크기의 범주에서 미세하게 가공하는 과학기술 기본시책의 마련 제3조(기본시책의